機床的誤差包括機床的制造誤差、安裝誤差和磨損等。機床誤差的項目很多，本節著重分析對真空吸附輥加工精度影響較大的主軸回轉誤差、導軌誤差和傳動鏈誤差。

1．機床主軸的回轉誤差

機床主軸是用來裝夾吸附輥或刀具并傳遞主要切削運動的重要零件，它的回轉精度是機床主要精度指標之一，回轉精度的高低直接影響著吸附輥的精度，對于精密機床尤其如此。為了保證加工精度，機床主軸回轉時，其回轉軸線的空間位置應當穩定不變，但實際上由于主軸部件在制造、裝配、使用過程中的種種因素影響，主軸在每一瞬時回轉軸線的空間位置都是變動的，即存在著回轉誤差。

所謂主軸回轉誤差是指主軸實際回轉軸線相對其理想回轉軸線的最大偏離值。偏離值越大，回轉精度越低；偏離值越小，回轉精度越高。實際上，主軸的理想回轉軸線雖然客觀存在，但很難確定其位置，所以通常用平均回轉軸線（即主軸各瞬時回轉軸線的平均位置）來代替它。

2、主軸回轉誤差的基本形式

機床主軸在回轉過程中，一方面繞自己的幾何軸線旋轉，另一方面這根幾何軸線還相對于主軸理想回轉軸線作相對運動。為了分析的方便，可以將主軸回轉軸線的運動誤差分解為三種基本形式：純徑向圓跳動、純軸向竄動和純角向擺動，下面以車床、鏜床為例，就主軸回轉誤差的三種基本形式對加工精度的影響進行分析。

主軸純軸向竄動是指主軸瞬時回轉軸線沿平均回轉軸線作直線運動。它對內外圓柱面的加工沒有影響，但在車床上車端面時，會使車出的真空吸附輥端面與圓柱面不垂直，端面與軸心線的垂直度誤差隨切削半徑的減小而增大。